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    泉州市晶茂真空設備有限公司

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    產品詳情
    產品名稱:擴散泵真空機組
    功能:擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽,擴散泵主體及擋板均有改進,使得在較低真空領域抽速有較大成度增加。

    特點:擴散泵系列真空機組的特點是抽氣能力大,抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇;并可長時間穩定連續工作

    主要配制:它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統

    詳細參數:請來電聯系18150992829

    一:擴散泵真空機組概述:

    擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽,擴散泵主體及擋板均有改進,使得在較低真空領域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統,可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置,以及其它需要在10-1 --10-4帕的低氣壓(高真空)環境下工作的真空系統的配套設備。

    擴散泵系列真空機組的特點是抽氣能力大,抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇;并可長時間穩定連續工作。擴散泵系列真空機組被廣泛地應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。

    二:擴散泵真空機組啟動操作

      1)系統啟動時,首先接通擴散泵的冷卻水,調整水溫繼電器的溫度設定值,然后開動機械泵進行粗抽。

      2)啟動機械泵前,要檢查泵的油位是否合乎要求,高真空閥及前級閥是否關閉。打開粗抽閥,在中小型抽氣系統中,只需要簡單的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里,可采用多步程序進行粗抽:首先,可通過一個小直徑的孔或旁路管道對真空室進行粗抽,當壓力降到沒有紊流存在時,再打開主粗抽閥門。

      3)當真空室內的壓力降到100Pa之后,可打開前級管道閥并給擴散泵加熱器通電。如果擴散泵已經處于真空封閉狀態,則可在步驟1) 中同時加熱擴散泵。當擴散泵剛開始通電加熱時,如果電源有調壓器時,開始可適當增加點電壓,但泵油接近于蒸發溫度時應把電壓調回到規定電壓,這樣可加快起動。但應注意時間過長會造成泵油裂化。

      4)一般將系統粗抽到15~20Pa左右時,關閉粗抽閥,等擴散泵正常工作后(即油蒸汽射流正常噴射),打開高真空閥進行抽氣。

      5)如果擴散泵正常工作一段時間后,被抽容器的真空度仍不提高,則說明系統漏氣率太大,應當關閉高真空閥,待系統漏率符合要求時再打開高真空閥進行抽氣。

    系統停止運轉時應按下述步驟進行:

      1)關閉高真空閥。

      2) 如果在擴散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱,則在關閉高真空閥后,應使冷阱升溫,讓擴散泵抽走冷阱放出的氣體和蒸汽。冷阱升溫可采用自然升溫和用干燥氮氣吹液氮儲罐兩種方法。前者升溫時間較長,后者可使升溫時間大大縮短。

      3)切斷擴散泵加熱電源。如有冷阱,可在冷阱溫度回升到0℃時,切斷擴散泵電源。

      4)當擴散泵冷卻到50℃時,關閉前級閥,然后關掉機械泵,并立即向泵內放入大氣(可通過電磁放氣閥自動完成)。

      5)關掉擴散泵的冷卻水。

      6)在真空系統停止工作時,如無特殊要求,應將系統各元件保持在真空狀態下封存,但機械泵內應通大氣。

     

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